一、国内外的研究进展国外在精密加工领域开展较早，一些国际著 名的大工业集团已经开发出商用的大行程精密运动平台，例如德国PI公司、美国Newport公司、Motorola公司、罗克威尔等。这些商业化的运动平台定位精度没有达到最 高的指标，但是 已经能够比较稳定的应用于生产生活中。
国外的一些高校科研机构也在此领域有明显进展，Standford，UniversityOfWisconsinMadison，汉城国家大学及我国国立台湾大学都有明显的科研成果。
1999年汉城国家大学的Pahk为半导体制造设备研制了XVθ三维运动精密定位平台，该大理石平台在200mm内可以达到10nm的定位精度，该系统采用2级伺服方案，宏动运动平台采用直线电机驱动，微动台采用压电陶瓷驱动，双频激光干涉仪作为位置反馈装置。
国内有许多单位在从事研究和生产超精密加工设备和仪器，如：北京机床研究所、清华大学、长沙国防科技大学、哈尔滨工业大学、西安交通大学、长春光学精密机械与物理研究所等单位。但到目前为止，国内外对纳米级微进给平台的研究工作大多局限于单坐标驱动器驱动的方式。个别学者针对多坐标驱动器微进给平台进行了一定的探索，但还存在一些技术问题，因此无法满足广泛的实际工程需要。
如今国外的微细电火花加工已步入工业应用阶段，微细电火花加工专用机床也应运而生，日本松下精机、瑞士夏米尔、阿奇、美国麦威廉斯等公司都有较成熟的产品，其中日本松下精机的产品能加工5μm的微细孔 ，具有一定的代表性。
二、趋势和展望
精密和超精密加工技术的发展和推广，提高了整个机械制造业的加工精度和技术水平，并普遍提高了机械产品的质量、性能和竞争力，进入到纳米级和亚纳米级加工精度是 必然的选择。根据我国当前的实际情况，参考国外的发展趋势，我国应该大力开展精密加工技术的研究，其主要内容包括以下方面。
1)超精密加工机床技术，建立探索建立具有系统联动性强，响应速度快，可用于多种微加工方法的、低速、多自由度的、具有纳米精度的三维极微细加工系统。为保证运动精度，采用高精度运动装置必需的全闭环反馈。对误差进行进一步的修正，并根据精密运动特点提出相应误差识 别的方案，提高运动定位精度。
2)超精密加工刀具及加工工艺、加工材料技术。
3)测量与控制及误差补偿技术；加工环境控制(包括恒温、隔热、洁净控制等)。
4)设备的精度(动特性和热稳定性)。
5)综合利用传统的加工手段，加以复合，即采用复合加工。
综合应用各种新技术，在各方面精益求精的条件下，才有可能突破常规技术达不到的精度界限，达到新的高精度指标。
高唐县鑫凯精密机械有限公司（http://www.xinkaijingmi.com）专业从事大理石构件定做，系大理石异型加工和精密加工的专业制造商，公司多年来一直从事花岗石平板、济南青花岗石量具的设计和生产，自成立以来已经为国内外2000多家单位提供服务，产品的质量以及售后服务得到了客户的赞赏。